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DIN 28429

2014 Edition, May 1, 2014

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Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps



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  • Revision: 2014 Edition, May 1, 2014
  • Published Date: May 2014
  • Status: Active, Most Current
  • Document Language: German
  • Published By: Deutsches Institut fur Normung E.V. (DIN)
  • Page Count: 13
  • ANSI Approved: No
  • DoD Adopted: No

Description / Abstract:

Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 × 10−5 mbar und 1 × 10−9 mbar.

Diese Norm soll sicherstellen, dass die Bestimmung der charakteristischen Daten von Ionengetterpumpen so weit wie möglich nach einheitlichen Verfahren und unter einheitlichen Bedingungen durchgeführt wird. Hierdurch soll erreicht werden, dass die Messungen, die von verschiedenen Herstellern oder von verschiedenen Laboratorien durchgeführt werden und die Informationen, die in den Katalogen der Hersteller angegeben werden, grundsätzlich vergleichbar sind.

ANMERKUNG Es ist zu erwarten, dass sich die Leistung neuer Pumpen mit der Zeit verschlechtert, weil sie während ihrer Betriebszeit unbekannten Gasbelastungen ausgesetzt werden, die irreversible Änderungen in der Leistung mit sich bringen. Im Falle von gebrauchten Pumpen ermöglichen die Messungen Leistungsvergleiche, vorausgesetzt, dass sie unter den Bedingungen, die im Folgenden beschrieben sind, durchgeführt werden.

1) Begriff siehe DIN 28400-2.