DIN 284292014 Edition, May 1, 2014Complete DocumentVacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps
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 Description / Abstract:
Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden
kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I
s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des
Saugvermögens liegt zwischen 1 × 10−5 mbar und 1 ×
10−9 mbar.
 
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