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DIN 32567-2

2014 Edition, October 2014

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Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures



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Product Details:

  • Revision: 2014 Edition, October 2014
  • Published Date: October 2014
  • Status: Active, Most Current
  • Document Language: German
  • Published By: Deutsches Institut fur Normung E.V. (DIN)
  • Page Count: 13
  • ANSI Approved: No
  • DoD Adopted: No

Description / Abstract:

DIN 32567 beschreibt systematische Einflüsse und Abweichungen bei der Messung von Schichtdicken und Stufenhöhen von Mikrostrukturen aus inhomogenen Materialien mit ausgewählten taktilen und optischen Messgeräten. DIN 32567 legt Verfahren fest, mit denen durch Materialeigenschaften und Messverfahren verursachte systematische Messabweichungen ermittelt und korrigiert werden.

Dieser Teil der DIN 32567 beschreibt Prüfkörper für topografische Schichtdickenmessungen mit taktilen Verfahren zur Untersuchung der systematischen Effekte, die auftreten, wenn Schicht und Substrat unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen.